說到特種氣體應用所產生的廢氣，有生產車間、設備、實驗室、活性氣體混合裝置、氣瓶等。所謂廢氣處理，是指對這些場所產生的廢氣進行處理，以免對環境、動植物健康造成危害。

　　處理基本原理

　　先將廢氣處理到安全狀態，即在廢氣無毒、不可燃后進行處理。廢氣處理應盡量減少災害，盡量減少或避免對環境的危害;特別是大中型企業需要使用大量的氣體，產生大量的廢氣。因此，應建立符合人體健康的廢氣處理裝置和處理系統，努力保護環境。

　　砷化氫、磷化氫、硼烷、硅烷等有毒易燃。氫具有強烈的燃燒和爆炸特性。氯、氯化氫和氟化氫具有很強的腐蝕性。對于上述氣體，既要注意防止環境污染，也要注意周圍的安全排放。

　　還有一種特種氣體廢氣處理，就是對于無害氣體，可以選擇一個合適的地方直接排放到大氣中。