高純氣體系統由專用氣體設備、氣體檢測傳感系統、自動控制及軟件系統、燃氣管道閥門等組成。系統前端連接該氣體供應裝置，系統終端連接采購的工藝生產設備顧客。

　　專用儲氣罐能安全、穩定地將高純氣體通過專用氣體管道輸送至終端設備，同時保證高純氣體不因氣體和水分的吸附、脫氣等而受到污染，保證氣體的純度，使氣體滿足生產工藝純度要求。

　　自動特種氣體柜(GC)采用PLC作為控制主體，配合觸摸屏進行系統顯示和設置，在緊急情況下(當設定的報警信號被觸發時)可實現自動吹掃、自動切換、自動安全切斷等功能，具有完善的功能和報警監控功能功能。也可根據不同的氣體特性和用氣要求配置不同的面板設計，以滿足不同行業的需要，保證工廠的正常生產和員工的人身安全。

　　SEMI S2是半導體工藝設備供應商規定的基本健康和要求的安全標準。遵守SEMI S2不僅符合相關國際法規，也是半導體行業保險公司要求的要條件之一。

　　綜上所述，在高純氣體工藝中，這種電子特種氣體設備專用氣體柜在功能設計和使用標準上是值得信賴的。