高純氣體管道是其供應系統的重要組成部分。從系統設計、管件及附件的選擇、施工安裝等方面入手，將合格的高純氣體送至使用點，保持合格的質量是關鍵，這其中包括管道選擇等多個內容。

　　半導體技術是20世紀以來重要的技術之一。半導體制造技術貫穿于提供高純度氣體、精煉原硅、制造晶圓、封裝和測試集成電路的全過程。以高性能、低成本為目標，向高密度、高集成度高速發展，對氣體雜質含量的限制更加嚴格。道路輸配電系統已變得非常要和重要。

　　例如，集成電路廠的生產線寬0.18um，直徑200mm。高純氣體中各種雜質的控制水平為10xl0-9。

　　有望很快實現納米級線寬，氣體雜質H20、O2、CO、CO 2、TH C等含量均低于10-12級(每級)。這種高純度的氣體是通過管道輸送的。高它能否送至用氣點并保持合格質量，關鍵是供氣系統的合理設計、管件及附件的正確選擇、施工安裝的正確性、檢測的合格性。

　　供氣系統：

　　一般來說，高純氣體供應系統有三種主要形式：

　　一、現場產氣、管道供氣;

　　二、外購液化氣，氣化后通過管道供氣;

　　三、外購氣瓶，用氣瓶(組)供氣。

　　某一項目的具體方法是根據工廠的生產規模和高純氣體用氣量、氣體質量、工廠所在城市或地區的天然氣市場供應等因素進行技術經濟比較后確定的。