電子工業是在高科技產業推動科學技術發展的，如今，由于所用氣體種類繁多，質量要求高，對于氣體的應用有著不同于其他領域的特點，人們稱這種氣體在電子工業中的應用統稱為電子特種氣體，它是電子專用氣體高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業的興起。

　　這類氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示、光纖生產四個領域，主要用于半導體集成電路的生產制造。半導體工業中使用的單位特種氣體有110多種，其中常用的有20～30種。

　　在集成電路制造應用方面，具體包括集成電路芯片制造工藝、化學氣相沉積與氣體應用、刻蝕與氣體應用、摻雜與氣體應用;

　　特種氣體在太陽能電池的應用中，具體包括太陽能電池的應用、薄膜太陽能電池的生產工藝及氣體應用;在化合物半導體的應用中，具體包括化合物半導體的應用、MOCVD/LED的生產工藝以及氣體應用。液晶顯示器的應用包括TFT/LCD應用、TFT/LCD生產工藝和氣體應用。在光纖應用方面，包括光纖應用、光纖預制棒生產技術和氣體應用。