高純氣體管道系統中所用閥門的要求非常嚴格。目前，國內實驗室基本上都采用SS316L不銹鋼。閥門類型包括減壓閥、隔膜閥、波紋管閥和球閥。減壓閥又稱減壓閥，專門用來控制氣體的壓力。波紋管閥的密封性比球閥好。當氣體流經閥門時，沒有填料與外部環境接觸，因此沒有泄漏。

　　隔膜閥除了氣密性與波紋管閥相當外，還具有死容積小、易排污、污染少等特點，適用于對氣體純度和生產工藝要求嚴格或風險較大的氣體。

　　這類氣體一般采用壓裝連接，氬弧焊自動軌道焊。焊接形式一般采用承插焊和對焊。承插焊的優點在于焊接時管道居中，便于焊接，但缺點是管道與承插之間有間隙，會有不易吹掉雜質的“死空間”，影響其質量。因此，應采用對焊連接，內表面應為自由焊縫，即施工時不得使用不銹鋼焊絲，母材本身熔化填充焊縫。

　　為保證輸送至高純氣體設備的質量，管道與設備之間應采用不銹鋼金屬軟管，不得采用非金屬軟管。