高純度制氧方法應要注意考慮化學方法，即分解含氧物質產生氧氣。物理方法，如精餾液態空氣，純度有限。在這方面，原料易提純，揮發度小，優選固體，副產品小，優選固體，然后你可以直接得出結論。

　　市售氧氣大多是通過空氣分離制備的，純氧是普通工業氧氣或餾出氧氣凈化的產物。普通工業氧或餾出氧中雜質的組成非常復雜，因為空氣不是特別干凈，所以氮氣、惰性氣體和烴類雜質的含量相對較高。

　　工業生產純氧傳統的方法是低溫精餾，這就是為什么我增加了“制冷”這個話題。許多有關高純氧制備的專業文獻發表在制冷領域的期刊上。低溫蒸餾生產高純度氧氣的優點是產品質量非常穩定。如果工業化生產，一套設備的純度不會有太大變化。低溫蒸餾制備高純氧的原理其實很簡單。

　　它是利用普通產品氧中雜質組分與氧沸點的差異(可以是液態氧也可以是氣態氧)來分離它們的，當然是精餾法。單柱精餾工藝可獲得純度較高純度，改進后的雙柱精餾工藝產品純度可能更高，可達到高純氧標準。

　　另一種制備高純度氧氣的方法是水電解和凈化。水電解粗品中的雜質沒有空分雜質復雜，主要是氫和水蒸氣。因此通常采用催化除氫+干燥的凈化方法。但是，電解法生產高純氧氣的單位成本很高，不適合大規模工業化生產。其優點是水電解法制備的純氧中雜質成分相對簡單，不含烴類雜質。