當樣品的密封面泄漏時，泄漏氣體中的氦氣和其他成分將從泄漏物中泄漏出來。泄漏氣體進入氦質譜儀后，由于氦質譜儀具有選擇性識別能力，那么氦氣質譜檢漏的常用方法是什么呢?下面就為大家簡單介紹。

　　正壓法主要用于大容量，高壓密封容器產品的泄漏檢測，例如高壓氦氣瓶和艙口泄漏檢測器，正壓法是一種無輔助真空系統，可以在任何工作壓力下準確定位并完成泄漏檢測，但是該方法的檢測靈敏度低，檢測結果不確定。

　　背壓法主要用于各種電子元件的泄漏檢測，該方法靈敏度高，可用于小型密封容器產品的泄漏檢測。但是，大的密封容器不能泄漏，否則，由于密封腔的尺寸大，加壓時間過長，此外，每個測得的泄漏率對應于兩個等效的標準泄漏率，精度檢查完成后，應使用其他方法進行粗略檢查，以消除大面積泄漏的可能性。

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