怎樣安全輸送高純氣體
發布時間:2020-06-20瀏覽次數:13606
說到高純氣體,它在很多行業中發揮作用還是比較大的,該管道技術是供氣系統的一個重要組成部分,是將合格的天然氣輸送到供氣點。這包括系統的正確設計、管件和附件的選擇、施工和安裝、測試和檢驗。
如何避免高純氣體在輸送過程中所帶來的一些污染,已成為值得考慮的問題之一。
此外,泛半導體工業中使用的各種特殊氣體通常具有多種危險特性。同時,由于泛半導體行業工藝復雜先進,對氣體質量保證和系統穩定運行提出了嚴格要求。
因此,在設計、安裝以及運行時候,就要充分考慮高純氣體清潔度、穩定性等關鍵因素。系統投運前,須通過壓力試驗、氦氣泄漏試驗、加濕試驗等多種類型的試驗,保證系統的高清潔度以及高安全性。
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